為保證超凈清洗間的整潔有序，確保工作人員和工作環(huán)境的安全，根據(jù)超凈車(chē)間清洗間實(shí)際情況，特制定以下清洗臺(tái)安全管理規(guī)范：
        1 、清洗間負(fù)責(zé)人員負(fù)責(zé)監(jiān)管清洗間的工作情況，有權(quán)糾正和制止違反清洗間管理的人員的行為。
        2、有機(jī)與無(wú)機(jī)化藥必須在相應(yīng)的清洗間分開(kāi)使用，有機(jī)與無(wú)機(jī)洗間分別獨(dú)立使用，不得串用。所有使用化學(xué)藥品進(jìn)行的濕法刻蝕、腐蝕工藝必須在清洗間操作。原則上有機(jī)清洗需在有機(jī)清洗臺(tái)進(jìn)行，無(wú)機(jī)清洗、酸堿腐蝕在無(wú)機(jī)清洗臺(tái)進(jìn)行。嚴(yán)禁在同一通風(fēng)柜中進(jìn)行有機(jī)和無(wú)機(jī)清洗。
        3、清洗操作時(shí)，注意個(gè)人防護(hù)意識(shí)，根據(jù)操作規(guī)程，無(wú)機(jī)清洗時(shí)，必須佩帶完整的防護(hù)，包括：防酸堿手套、圍裙、眼鏡、面罩、護(hù)袖等。有機(jī)清洗時(shí)，若使用有毒或劇毒化藥，如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等，必須佩帶完整的防護(hù)。任何清洗工藝，必須佩帶完好的乳膠手套。所用個(gè)人防護(hù)用品使用完畢后，必須用水沖洗干凈，避免化藥殘留在防護(hù)用品上，影響他人使用，使用完畢后整齊放回原位。
        4、使用化學(xué)藥品必須預(yù)先了解所用化藥的使用注意事項(xiàng)和相應(yīng)的應(yīng)急措施。進(jìn)行清洗操作前必須看化學(xué)藥品標(biāo)識(shí)，正確使用化學(xué)藥品。
        5、清洗操作時(shí)，要節(jié)約使用化藥和無(wú)塵紙等耗材。新液化藥只能用于清洗樣品，嚴(yán)禁新液用于其他用途。要選用適合的器皿，不得用大的器皿清洗小的樣品?；幱昧繀⒖迹阂好嫔w過(guò)樣品不要超過(guò)1CM。使用新液化藥順序：先使用已開(kāi)啟試劑，已開(kāi)啟試劑使用完畢后再開(kāi)啟新的試劑，并在使用完畢后的空瓶表面寫(xiě)上“廢”字。
        6、清洗操作時(shí)，加熱、冷卻、剝離等需要離開(kāi)時(shí)，在無(wú)人看管情況下，放置在公共位置的任何溶液必須放置標(biāo)識(shí)牌（使用人、化藥名稱(chēng)、日期、時(shí)間），放置的位置不得影響其他人工作，清洗完畢后，請(qǐng)及時(shí)用酒精或丙酮擦除標(biāo)識(shí)牌，沒(méi)有標(biāo)識(shí)的行為和標(biāo)識(shí)牌沒(méi)有及時(shí)清除將視為違規(guī)行為。
        7、取新液時(shí)，要把新液桶外面的包裝塑料袋和橡皮筋放入垃圾桶，嚴(yán)禁放回新液柜。嚴(yán)禁把空新廢液桶放回新液柜中。無(wú)機(jī)廢液桶要放置在裝有廢液回收桶的藍(lán)盒子里，有機(jī)廢液桶要放置在空廢液瓶整理箱或廢液柜中。用戶(hù)如有自己的化藥新液，請(qǐng)做好標(biāo)識(shí)，放置在用戶(hù)相應(yīng)的新液柜中，遵循：有機(jī)與無(wú)機(jī)分開(kāi)，酸、堿分開(kāi)放置原則。有機(jī)廢液柜未放滿時(shí)，嚴(yán)禁把廢液瓶放置在地面（只有廢液柜放滿時(shí)，才可以把廢液整齊放置在地面）。
        8、在使用8槽清洗機(jī)進(jìn)行清洗樣品時(shí)，必須使用指定的公共清洗器皿。嚴(yán)禁在未經(jīng)允許的情況下使用別人的清洗器皿，個(gè)人和公共清洗器皿使用完畢必須清洗干凈，用氣槍吹干后，放回指定位置。
        9、清洗廢液、腐蝕廢液、光刻所用廢液必須按照要求和指示倒入相應(yīng)的廢液回收桶，擰緊廢液桶蓋時(shí)，要向反方向回旋半圈，桶蓋要松。處理無(wú)機(jī)廢液時(shí)，要注意選擇好相應(yīng)的廢液桶，倒廢液之前加入5倍以上的去離子水稀釋?zhuān)饬蛩岢猓渲袕U液稀釋的水包括原溶液中的水。稀釋時(shí)注意：把廢液加入水中稀釋?zhuān)▌?wù)必注意順序）。無(wú)機(jī)廢液傾倒時(shí)，要雙手進(jìn)行同一操作。不要一只手拿廢液或空燒杯，一只手?jǐn)Q松或擰緊廢液桶蓋。
        10、廢濃硫酸桶中存放廢液有：（1）、廢濃硫酸占總體積大于50％以上的廢液。（2）、廢純濃硫酸。兩者廢液都不需要稀釋?zhuān)苯拥谷霃U濃硫酸桶。如果廢液中濃硫酸總體積比小于50％，則需要加5倍以上去離子水稀釋?zhuān)◤U濃硫酸加入水）倒入廢酸桶。
        11、清洗操作時(shí)，從一個(gè)清洗臺(tái)到另一個(gè)清洗臺(tái)時(shí)間間隔一分鐘以上，要關(guān)閉相應(yīng)清洗臺(tái)通風(fēng)門(mén)。如果清洗完畢離開(kāi)清洗間，清理臺(tái)面并檢查通風(fēng)門(mén)、燈、超聲機(jī)、水浴機(jī)的開(kāi)關(guān)電源是否關(guān)閉。超聲機(jī)使用完畢后及時(shí)關(guān)上超聲機(jī)蓋子。
        12、有機(jī)廢液回收時(shí)，只有丙酮、異丙醇、無(wú)水乙醇可以混合回收，其他如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等有毒化藥要單獨(dú)回收并做好標(biāo)識(shí)。有機(jī)廢液處理時(shí)，要在廢液桶上寫(xiě)好標(biāo)識(shí)，如果別人已寫(xiě)好你需要做的標(biāo)識(shí)，而且廢液桶未裝滿，可以不寫(xiě)標(biāo)識(shí)，直接倒入廢液桶。
        13、清洗完畢后，要整理并清洗臺(tái)面，并更換一次性乳膠手套。清洗前后要在記錄本上分別登記完整的開(kāi)始和結(jié)束時(shí)間、目的、化藥名稱(chēng)等記錄。
        14、廢棄手套、無(wú)塵布、無(wú)塵紙等請(qǐng)放入垃圾桶，所用化學(xué)藥品放回原處，用水沖清洗臺(tái)面并用無(wú)塵紙擦凈，再用壓縮氮?dú)獯蹈汕逑磁_(tái)，保持清洗臺(tái)整潔干爽。禁止在清洗臺(tái)上遺留任何廢棄物，并及時(shí)關(guān)閉清洗臺(tái)的通風(fēng)門(mén)。清洗間使用人員有義務(wù)及時(shí)清理所用清洗臺(tái)遺留的廢棄物。
        15、在傾倒廢液時(shí)，要注意觀察是否有廢液遺撒地面，或在清洗結(jié)束后，檢查是否有水或其他液體灑落在清洗臺(tái)附近的地面，若有一定要及時(shí)用無(wú)塵紙或其他方式處理干凈。
        16、清洗操作時(shí)，使用氫氟酸（HF）、氟化銨（NH4F）或（BOE）含有氟離子的化藥時(shí)，必須用塑料的燒杯、量筒等器皿，禁止用玻璃及石英器皿。
        17、配制無(wú)機(jī)溶液時(shí)，遵循：一、有水在配制溶液中的，先倒水，后倒入密度小的化藥，再到入密度大的化藥；二、沒(méi)有水在配制溶液中的，先倒密度小的化藥，再倒入密度大的化藥。密度的大小可以根據(jù)分子量的大小區(qū)分，一般情況下分子量大的化藥密度大，分子量小的化藥密度小。
        18、溶液加熱時(shí)，要等到溫度升到設(shè)定溫度時(shí)，再放上器皿去加熱，加熱完畢后，關(guān)閉電源，等溶液冷卻到室溫才可以取出。（一般：有機(jī)與無(wú)機(jī)，酸、堿不能同時(shí)加熱操作）。
        19、在清洗時(shí)，不慎把大量化藥灑在地面或發(fā)現(xiàn)有大量化藥在地面，應(yīng)立即處理。BOE灼傷眼睛或皮膚，一份鐘內(nèi)用六氟靈沖洗，再用水沖洗，而后立即就醫(yī)。
        20、未經(jīng)許可的情況下，不得擅自攜帶化學(xué)藥品進(jìn)出超凈間。
        21、未通過(guò)培訓(xùn)和考核的人員不得擅自使用清洗設(shè)備。
        22、如果在清洗過(guò)程中，有任何疑問(wèn)，應(yīng)及早主動(dòng)與相關(guān)工藝負(fù)責(zé)人人溝通。
       
       
        編寫(xiě)：               審核：                      批準(zhǔn):